ZEISS EVO

Scanning Electron Microscope

ZEISS EVO Family

직관적인 조작법, 반복적인 일반 연구와 응용에 최적의 SEM 플랫폼

EVO family 모델은 고성능 주사전자 현미경 기능을 탑재하고 직관적이고 사용자 친화적인 경험을 제공, 숙련된 현미경 전문가와 초보 사용자 모두 사용하기 편리한 연구장비입니다. 다양한 분야에서 사용 가능한 옵션을 통해 EVO는 생명 과학, 재료 과학 또는 일반 산업 분야의 품질 보증 및 불량 분석의 요구사항에 정확한 솔루션을 제공해 줍니다.

  • 중앙연구소 또는 산업 내 품질 보증 부서의 다목적 연구용 솔루션 제공
  • 산업체 요구 사항을 대부분 충족시키는 다양한 챔버 크기 및 스테이지 옵션 - 대형 산업 부품 및 샘플의 경우도 가능
  • Lanthanum Hexaboride (LaB6) emitter로 최상의 이미지 퀄리티 보장
  • 비전도성 및 코팅이 되지 않은 시료의 이미징 및 분석의 뛰어난 결과 획득
  • 까다로운 미세 분석 어플리케이션을 위한 다양한 분석 검출기
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SmartSEM Touch

기존 사용자, 초보 모두 간편하게.

SmartSEM 터치, 컨트롤 패널이면 OK

SmartSEM 터치 기능과 EVO 컨트롤 패널로 훨씬 더 정확하고 빠른 제어를 체험해보세요. 더욱 간편해진 유저 인터페이스로 컨트롤을 더 이상 컴퓨터 마우스와 키보드로 제어하지 않아도 됩니다. SmartSEM 터치는 양방향 워크 플로우 제어 기능으로, 터치만으로 모든 기능을 제공합니다. 빠르고 쉽게 배울 수있어 교육에 대한 부담이 줄어 듭니다. 또한 단시간에 초보 사용자도 좋은 이미지 결과를 낼 수 있습니다. EVO의 유저 인터페이스는 반복 가능한 검사 작업을 위해 자동화된 워크 플로우가 필요한 산업체 담당자에게도 적격입니다.
maximum data quality

데이터 추출은 MAX, 이미징은 BEST.

데이터 품질 보장과 탁월한 퍼포먼스

EVO는 코팅을 하지 않았거나 표면 정보가 보존되어 있는 샘플에서 최상의 퀄리티로 데이터를 추출 하는 데에 탁월한 퍼포먼스를 냅니다. 또한 EVO는 수화되었거나 표면에 심하게 오염된 샘플도 본연의 상태 그대로 유지시켜 높은 데이터 퀄리티를 보호합니다.  LaB6 emitter는 이미징 및 미세 분석이 어려울 때 중요한 해상도, 컨트라스트, signal-to-noise 값을 제공합니다.
EVO can be configured to be part of a semi-automated multi-modal workflow

오직 ZEISS여서 가능한 솔루션.

광학 현미경으로 보완되는 분석 정보

광범위한 현미경 및 계측 시스템을 보유한 ZEISS이기에 가능한 특별한 솔루션을 EVO에서도 기대할 수 있습니다. 바로 Correlative Microscopy를 통한 하드웨어 및 소프트웨어 인터페이스인 'Shuttle & Find'를 이용하면 디지털 광학 현미경과 EVO간 생산성 높은 멀티 모드의 워크 플로우를 구축할 수 있습니다. 광학 현미경 고유의 컨트라스트 기법과 SEM에서의 동일한 이미징 및 분석 방법을 결합해 서로 보완해주는 데이터를 얻을 수 있습니다. 시료의 재료 정보, 품질, 불량 메커니즘에 대한 보다 의미있는 정보를 얻어보세요.

샘플의 완벽한 온습도 제어.

VP 및 EP 모드

EVO는 Variable Pressure와 Extended Pressure SEM으로, Coolstage와 함께 사용하면 비전도성이거나 수화 상태인 샘플 이미징이 가능합니다. 사용자는 챔버의 온도와 압력을 컨트롤하여 시료 컨디션을 제어할 수 있습니다. 3000 Pa의 EVO 압력 범위는 다양한 온도, 압력 및 습도 조건에서 시료를 이미징하는 데 완벽한 조건을 갖춥니다. C2D를 포함한 EVO 검출기는 샘플 준비를 최소화하면서 다양한 조건에서 높은 해상도, 높은 컨트라스트 이미지를 제공합니다.

지능형 네비게이션과 이미징

시료 처리량과 생산성, 성능 모두 UP

ZEISS Navigation Cameras

ZEISS 네비게이션 카메라
네비게이션 카메라는 챔버 내부, 진공챔버 도어와 같이 2가지 위치에 설치될 수 있습니다. 챔버 내부에 설치된 카메라는 폴피스 아래 마운팅하는 후방산란 검출기로 검출하는 샘플 위치를 모니터링하기에 효과적입니다. 챔버 도어에 설치되는 카메라는 샘플홀더 위 샘플 또는 부품배열들을 헬리캠처럼 모두 확인할 수 있어 분석 위치를 쉽게 찾아갑니다. 광학 현미경 이미지에서 식별된 미리 지정한 관심 위치를 설정하고 전체 샘플 조사 프로세스 중에도 쉽게 탐색할 수 있습니다.

Automated Intelligent Imaging

자동화 지능형 이미징
EVO는 샘플 batches에서 이미지를 자동 획득할 수 있습니다. ZEISS의 자동화 지능형 이미징은 반복적인 검사에 완벽하게 적합한 솔루션으로, 사용자는 경계 영역을 정의하고 필요한 FOV 또는 배율에 따라 결정된 관심 영역을 자동으로 생성하고 획득을 시작할 수 있습니다. 이를 통해 시료 처리량을 개선하여 생산성과 성능을 향상시킵니다.

ZEISS EVO at Work

Application Examples

제조 부품 산업
  • Quality analysis / quality control
  • Failure analysis / metallography
  • Cleanliness inspection
  • Morphological and chemical analysis of particles to meet ISP 16232 and VDA 19 part 1 & 2 standards
  • Analysis of non-metallic inclusions
Zinc-phosphate E-coating, imaged with SE detector in high vacuum.
Zinc-phosphate E-coating, imaged with SE detector in high vacuum.
Car seat cushion foam, imaged uncoated in Variable Pressure mode with the BSE detector.
Car seat cushion foam, imaged uncoated in Variable Pressure mode with the BSE detector.
Stainless steel fracture surface, imaged with secondary electrons in high vacuum.
Stainless steel fracture surface, imaged with secondary electrons in high vacuum.

반도체 및 전자
  • Visual inspection of electronic components, integrated circuits, MEMS devices and solar cells
  • Copper wire surface and crystal structure investigation
  • Metal corrosion investigations
  • Cross-sectional failure analysis
  • Bonding foot inspections
  • Capacitor surface imaging
Wire bond inspection using secondary electron imaging in high vacuum or variable pressure mode.
Wire bond inspection using secondary electron imaging in high vacuum or variable pressure mode.
Corroded Nickel layer imaged with secondary electrons
SE image revealing whisker growth on an electronic device.
SE image revealing whisker growth on an electronic device.

철강 및 기타 금속
  • Imaging and analysis of the structure, chemistry and crystallography of metallic samples and inclusions
  • Phase, particle, weld and failure analysis
Cross section of galvanised mild steel, imaged using the SE detector on EVO 15.
Cross section of galvanised mild steel, imaged using the SE detector on EVO 15.
Surface of S355 steel after grit blasting with F80 grit alumina.
Surface of S355 steel after grit blasting with F80 grit alumina.
Surface of titanium alloy (Ti-6Al-4V) additively manufactured using selective laser melting showing fully melted regions alongside unmelted Ti-6Al-4V particles and other material.
Surface of titanium alloy (Ti-6Al-4V) additively manufactured using selective laser melting showing fully melted regions alongside unmelted Ti-6Al-4V particles and other material.

원료
  • Morphology, mineralogy and compositional analysis of geological samples
  • Imaging and analysis of the structure of metals, fractures, and nonmetallic inclusions
  • Morphological and compositional analysis of raw chemicals and active ingredients during micronization and granulation processes
Mineralogic mineral map of blueschist. Sample: courtesy of S. Owen
Mineralogic mineral map of blueschist. Sample: courtesy of S. Owen
Residual copper slag particle from large Zambian copper smelter. Sample: courtesy of Petrolab, UK
Residual copper slag particle from large Zambian copper smelter. Sample: courtesy of Petrolab, UK
Peralkaline Granite, Northern Quebec, Canada, containing rare earth elements, including a fluorite vein that crosscuts the sample and zoned zircons.
Peralkaline Granite, Northern Quebec, Canada, containing rare earth elements, including a fluorite vein that crosscuts the sample and zoned zircons.

재료과학 연구
  • Characterization of both conductive and non-conductive material samples for research purposes
Expansion and crack bridging network of self-healing minerals, imaged using SE detector at 12 kV shows flower-like hydro-magnesite structures is formed.
Expansion and crack bridging network of self-healing minerals, imaged using SE detector at 12 kV shows flower-like hydro-magnesite structures is formed.
Graphene foam structure from a battery assembly, imaged in high vacuum with SE detector.
Graphene foam structure from a battery assembly, imaged in high vacuum with SE detector.
Aerospace composite material imaged with the C2D detector at 10 kV in Variable Pressure mode.
Aerospace composite material imaged with the C2D detector at 10 kV in Variable Pressure mode.

생명과학
  • Research into plants, animals and micro-organisms
False-colored image of mildew on the surface of a leaf. Imaged with C2DX detector at 570 Pa water vapor at 1°C, 20 kV.
False-colored image of mildew on the surface of a leaf. Imaged with C2DX detector at 570 Pa water vapor at 1°C, 20 kV.
Detail of a pseudoscorpion, imaged with BSE detector under high vacuum at 20 kV.
Detail of a pseudoscorpion, imaged with BSE detector under high vacuum at 20 kV.
Tree pollen imaged with extended pressure and C2DX detector at near to 100% relative humidity.
Tree pollen imaged with extended pressure and C2DX detector at near to 100% relative humidity.

법의학
  • Gunshot residue (GSR)
  • Paint and glass analysis
  • Bank note and coin forgery
  • Hair and fiber comparisons
  • Forensic toxicology
Molten glass solidified on a tungsten fragment indicate the bulb was active at the time of the incident.
Molten glass solidified on a tungsten fragment indicate the bulb was active at the time of the incident.
The C2D detector produces excellent images of uncoated samples in variable pressure mode, perfectly suited to forensic fiber comparisons.
The C2D detector produces excellent images of uncoated samples in variable pressure mode, perfectly suited to forensic fiber comparisons.
The mark from a firing pin on a gun casing can be used to help identify the weapon used.
The mark from a firing pin on a gun casing can be used to help identify the weapon used.

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