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ZEISS FE-SEM

High Quality Imaging and Advanced Analytical Microscopy

90초로 보는 ZEISS 전자 현미경

  • 나노미터의 분해능과 높은 효율의 검출력으로 다양한 시료를 쉽게 분석
  • 뛰어난 광학 설계 기술로 기존 전자 현미경으로 분석이 어려웠던 샘플을 이미징
  • 자성에 영향을 덜 받는 렌즈로 빔에 민감하거나 전도성이 없는 시료를 저전압 그리고 저진공법을 활용해 분석, 다양한 3rd Party로 샘플 정보를 획득
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Your FE-SEM from any sample, every time

나노 미터 이하의 분해능과 높은 검출 효율로 시료를 손쉽게 이미징하십시오. 민감한 표면 분석에도 어려움 없이, VP모드의 활용, 최적의 유연함을 갖춘 장비 성능을 자랑합니다.

GeminiSEM - Crisp Image

더 많은 신호, 더 많은 정보를 얻다

GeminiSEM - EBSD Coin

이미징부터 분석까지, 원스톱 솔루션

GeminiSEM - Magnetic Materials

이미징의 유연함

ZEISS FE-SEM은 더 많은 신호와 정보를 얻기 위해 저전압에서 다양한 샘플 분석을 실현합니다.
 
  • Inlens 감지 신호가 크게 증가하여 선명도 높은 이미지를 빠르고 샘플 손상을 최소화합니다.
  • 저전압에서 고해상도 및 대비로 나노 스케일 분석이 가능하며 샘플의 바이어스 없이 완벽힌 이미지를 구현합니다.
  • 빔 감속 없이 완벽한 이미징으로 0.8nm 분해가 가능합니다.
  • ZEISS의 저진공 모드는 진공 상태에서 작업하는 듯한 경험을 제공합니다
이미징 및 분석 속도, 그리고 감도 성능 면에서 최적의 성능을 보여줍니다. EDS 또는 EBSD 실험에 필요한 쉽고 빠른 공간 분해능을 구현하십시오.
 
  • EDS 또는 EBSD 분석에서 저전압으로 작업 시 고해상도 및 표면 감도 면에서 훨씬 유리합니다.
  • 당신의 샘플을 빠르고 뛰어난 이미지 퀄리티로 대면적 이미징이 가능하게 합니다.
  • 광학 설계의 이점으로 작업 시 복잡한 재조정으로 시간을 낭비하지 않습니다.
  • 비전도성 또는 자성, 모든 종류의 샘플 분석을 위해 이미지, 분석 속도나 품질에 관계 없이 고진공이나 저진공 모드에서 작업합니다.
대면적 이미징 시 고해상도 및 High Contrast를 경험할 수 있습니다. 특히 고진공이나 저진공를 사용하는 초보 유저들뿐만 아니라 범용적으로 사용 가능한 모델입니다.
 
  • 뛰어난 이미지 품질과 빠른 이미지, 효율적인 detection, 왜곡 없는 대면적 이미지를 구현합니다.
  • 빔에 민감하거나 자성 샘플 같은 까다로운 시료에 적합하도록 저전압 이미징에 적합한 새로운 광학 설계는 높은 gun 해상도 모드에서 최적의 이미지를 보여줍니다.
  • 시료의 종합적 정보 획득: 에너지의 선택적인 backscatter 검출기로 유니크한 저전압 및 contrast를 얻으십시오.
  • 저진공 모드의 활용: 고전압에서 저진공 전용 검출기를 사용하면 표면 감도가 뛰어난 고해상도 비전도성 이미지 촬영이 가능합니다.

Gemini 칼럼

ZEISS의 독보적인 광학기술

고해상도 이미징을 위해 설계된 FE-SEM 성능의 핵심은 ZEISS 광학 기술을  적용한 전자현미경 컬럼으로 모든 시료, 특히 낮은 가속전압에서 탁월한 분해능 및 사용 편의성을 제공하도록 맞춤 설계되었습니다.

Gemini optics의 3가지 주요 기능

  • Gemini 대물렌즈 설계는 정전기 렌즈와 자기 렌즈를 결합한 디자인으로  수차를 줄여 자기장이 시료에 끼치는 영향을 최소화합니다. 이를 통해 민감한 표면이나 강자성 시료에서도 우수한 이미징을 구현합니다.
  • Gemini 빔 부스터 기술, 즉 통합된 빔 감속 기능은 작은 프로브 크기와 높은 signal-to noise 비율을 보장합니다.
  • Gemini Inlens 검출기는 이차 전자 및 후방 산란 전자를 효과적으로 감지해 이미지 시간을 최소화함으로써 효율적인 신호를 보장합니다.

 

Application으로 얻을 수 있는 이점

  • SEM 운용에 있어서 장기적인 안전성, 프로브 전류 및 가속전압과 같은 모든 시스템 파라미터들을 손쉽게 조정할 수 있습니다.
  • 짧은 Working Distance에서 자기장이 없는 광학 장치를 사용하여 왜곡 없는 고해상도 이미지를 획득할 수 있습니다.
  • 표면에 민감한 일차 SE 전자에서 이미지를 생성하는 Inlens SE 검출기를 사용해 시료의 최상위 층에서만 정보를 얻습니다.
  • 다양한 후방산란전자 검출기로 매우 낮은 전압에서 정확한 성분 정보를 얻을 수 있습니다.

Applications

ZEISS FE-SEM을 활용한 다양한 시료 분석 결과

재료 샘플
Precursor material for functional surface, gold nanoparticles on polystyrene sphere, imaged with GeminiSEM 500, at 3 kV.
Precursor material for functional surface, gold nanoparticles on polystyrene sphere, imaged: GeminiSEM 500 at 3 kV.
Etched silicon nanostructures at 50 V, no sample biasing. Imaged with GeminiSEM 500
Etched silicon nanostructures at 50 V, no sample biasing. Imaged with GeminiSEM 500. Sample: courtesy of A. Charai, Aix Marseille University, France.
Silica-supported Cobalt catalyst
Silica-supported Cobalt catalyst is characterized by means of high resolution imaging and EDS analysis at 25 kV using GeminiSEM 450 and Oxford Instruments Ultim Max 170 EDS detector.
Metal foams like this open cell nickel foam are widely used as cathode substrate in batteries or super-capacitors.
Metal foams like this open cell nickel foam are widely used as cathode substrate in batteries or super-capacitors.
Fractured surface of a NdFeB magnet
Fractured surface of a NdFeB magnet.
Investigation of the fractured surface of an NdFeB magnet (demagnetized) with GeminiSEM 450.
Investigation of the fractured surface of an NdFeB magnet (demagnetized) with GeminiSEM 450.
Lithium ion battery cathode shows no beam damage of sensitive binder material at 500 V
Lithium ion battery cathode shows no beam damage of sensitive binder material at 500 V.
Lithium ion battery cathode. EDS compositional mapping shows main constituents of the different oxides
Lithium ion battery cathode. EDS compositional mapping shows main constituents of the different oxides.

바이오 샘플
Moth wing, Inlens SE detector, at 50 V, in high vacuum.
Moth wing, Inlens SE detector, at 50 V, in high vacuum.
Large field oBrain section, large field of view, imaged using 3View® in combination with GeminiSEM 300.f view of a brain section imaged using 3View® in combination with GeminiSEM 300.
Brain section, large field of view, imaged using 3View® in combination with GeminiSEM 300.
Cilia, imaged with the BSD detector in GeminiSEM 450.
Cilia, imaged with the BSD detector in GeminiSEM 450.
Brain section, imaged without Tandem decel results in low contrast.
Brain section, imaged without Tandem decel results in low contrast.
Brain section, applying Tandem decel increases contrast
Brain section, applying Tandem decel increases contrast.
T4-Phage, negative stained, imaged with a STEM detector
T4-Phage, negative stained, imaged with a STEM detector.

반도체 및 전자 샘플    
Data storage, hard disk read head.
Data storage, hard disk read head. Left: Inlens SE detector. Right: Inlens EsB detector.
FinFET transistor, top view, 22 nm technology.
FinFET transistor, top view, 22 nm technology, 3 kV, pure BSE imaging using EsB, high material contrast.

기타
The magnetic grains of a hard disk platter, a magnetic data storage medium, are only a few nanometers in scale, which affects the bit density and thus the data capacity of the hard disk.
The magnetic grains of a hard disk platter, a magnetic data storage medium, are only a few nanometers in scale, which affects the bit density and thus the data capacity of the hard disk.
Metal foams like this open cell nickel foam are widely used as cathode substrate in batteries or super-capacitors.
Metal foams like this open cell nickel foam are widely used as cathode substrate in batteries or super-capacitors.
NanoVP, VPSE Detector, 150Pa, 3kV. Fibrous polymer microstructures
NanoVP, VPSE Detector, 150Pa, 3kV. Fibrous polymer microstructures.

Interface & Analysis

스마트 터치 및 머신 러닝 이미지 분석

ZEISS SmartSEM Touch

ZEISS SmartSEM 터치 기능은 초보자도 쉽게 사용할 수 있는 Interface로 빠른 기간 내 전문가 수준의 분석 결과를 획득 가능합니다.

ZEN Intellesis

자동화된 촬영 기능 및 머신 러닝을 이용한 Advanced된 이미지 분석으로 생산성 및 분석 재현성을 높이십시오. 

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